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在MEMS和AFE核心技术领域拥有雄厚实力的美蓓亚三美集团旗下三美电机株式会社(以下简称三美电机),以“室内设备压力可视化 ”为主题推出了一款新产品MMR920系列压力传感器。产品具备小型化、低功耗的优势,能够以±1%FS的精度测量±3.92kPa的压力范围。
MMR920系列采用新型MEMS结构,提高了内部MEMS芯片的灵敏度,并配备了24bit⊿ΣADC,能够以较高的有效分辨率进行准确的压力测量。它可以检测空调设备、冷气机、换气扇等因过滤器堵塞而引起的内部压力变化和医疗器械等因呼气而引起的微小压力变化。
MMR920系列传感器采用7mm小型表面贴装式封装和新型背面受压封装结构,具有防潮防尘功能,有助于缩小安装侧基板的尺寸和减少设计工时,从而实现空调和医疗器械的进一步小型化。
特点
① 新型MEMS结构提高了产品灵敏度。通过采用将压力集中在压电元件上的结构,灵敏度比MS901系列高出约4.59倍。
② 专利技术实现了从MEMS芯片背面受压的结构,这在过去的小型表面贴装型封装中很难实现。这项专利技术实现了产品小型化的同时,还能确保防止湿气和异物从喷嘴部分进入内部。
③ 产品内部安装了高性能24bit⊿ΣAFE,实现了传感器的高速响应和高分辨率(低噪音)。
④ 传感器的偏差和温度特性在出货时已得到校正,因此无需复杂的传感器驱动/控制电路/校正。
*已取得日本专利(专利第7352076号,专利第7323810号)
主要用途
空调设备、冷气机和换气扇
CPAP和呼吸辅助设备等医疗器械
电子管乐器 等
产品照片
三美电机制造MMR920系列
产品规格
● 工作电压范围 : 3.0~3.6V
● 工作压力范围 : ±3.92kPa
● 工作温度范围: -40~60°C (* 后续将推出-40~85°C 产品)
● 电流消耗: 0.8mA
● 压力精度 : ±1.0%FS
● 转换时间: 0.4 / 0.8 / 1.6 / 3.2 ms(可选)
● 有效分辨率:1.9 / 0.9 / 0.4 / 0.2 Pa RMS(与所选转换时间对应)
● 接口:I2C / SPI
封装:MEMS-12B
尺寸:7.0 x 7.0 x 7.2(W×D×H)mm